1. 漏气检测：可以使用气泡剂或压力表进行漏气检测。将气泡剂涂抹在真空本体表面，观察是否有气泡产生，如果有，则表示存在漏气点。或者使用压力表测量真空本体内部的压力变化，观察压力是否持续下降，以判断是否存在漏气。
2. 真空度测量：使用真空度计测量真空本体的真空度。真空度计可以选择利用热阴极或其他原理来进行测量，具体方法需根据真空本体的特性进行选择。确保真空度在要求的范围内。
3. 清洁度检测：使用质谱仪或可燃气体检测仪等设备，检测真空本体内部的气体和杂质含量。保证真空环境的清洁度，避免对工艺产生不良影响。
4. 功能性测试：检测真空本体的各项功能是否正常工作。例如，测试真空泵是否正常启停，真空阀门是否开关灵活，真空本体是否能够正确维持设定的真空度等。
5. 外观检查：检查真空本体的外观是否完好无损，不存在破损、划痕等情况。确保真空本体的外观符合要求，并无影响使用的缺陷。
