真空度检测-检测方法
真空度检测是指对封闭体内真空度进行测量和验证的过程,主要用于检测真空系统的工作状态和性能。
常用的真空度检测方法包括:
1. 热阴极离子化法:通过在真空室内产生电子束,使气体分子被电离,然后测量电离效应来确定真空度。
2. 比较法:通过将待测真空室与已知真空度的标准室连接,通过比较两个真空室压力之差来测量真空度。
3. 直接测量法:采用式样尺、压力计等直接测量真空室内的气压来判断真空度。
4. 示波器法:利用带有感应线圈的封闭室和示波器,通过监测脉冲震荡频率来推算真空度。
5. 来回灌注法:通过连续灌注气体来调控真空室的气压,根据灌注量和室内气压变化来测量真空度。
6. 氮气泄漏法:通过向真空室注入一定浓度的氮气,在一定时间内测量室内氮气浓度的减小情况来判断真空度。