薄膜厚度测试：用于测量光刻胶薄膜的厚度。
分辨率测试：评估光刻胶能够实现的最小图案尺寸。
对比度测试：确定光刻胶在曝光前后的光学对比度。
敏感度测试：衡量光刻胶对光的敏感程度。
粘附性测试：检查光刻胶与基底的粘附强度。
化学稳定性测试：考察光刻胶在不同化学环境下的稳定性。
热稳定性测试：评估光刻胶在高温条件下的性能。
缺陷检测：检测光刻胶薄膜中的缺陷，如颗粒、气泡等。
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中析研究所
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