激光干涉仪法：通过激光干涉测量位移机构的位移量，具有高精度和高分辨率。
编码器测量法：使用编码器来测量位移机构的转动或直线位移，适用于各种类型的位移机构。
电容传感器法：利用电容变化来检测位移机构的位移，具有较高的灵敏度。
应变片测量法：将应变片粘贴在位移机构上，通过测量应变来间接测量位移。
光学显微镜法：用于微观位移机构的检测，可观察和测量微小位移。
机器视觉法：利用图像处理技术对位移机构进行非接触式测量和检测。
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