外延生长基底检测-检测方法
X 射线衍射(XRD):用于检测外延生长基底的晶体结构和取向。
原子力显微镜(AFM):可提供基底表面形貌和粗糙度的信息。
扫描电子显微镜(SEM):用于观察基底的微观结构和表面特征。
光学显微镜:可对基底进行宏观观察和缺陷检测。
荧光光谱:用于检测基底中的杂质和缺陷。
拉曼光谱:可提供基底的分子结构信息。
电学测试:如电阻率测试,用于评估基底的电学性能。
热分析:如差示扫描量热法(DSC),用于研究基底的热性能。
化学成分分析:如 X 射线荧光光谱(XRF),用于确定基底的元素组成。