1. 检测真空系统：使用真空压力计对真空系统进行检测，确保真空度符合设备要求。
2. 检测涂料或溶液的浓度：可以通过浸渍试样后的涂层厚度或溶液中溶质的质量变化来确定涂料或溶液的浓度。
3. 检测涂层的附着力：使用适当的附着力测试方法（如剥离试验、刮痕试验等）来评估涂层与基材之间的附着力。
4. 检测涂层的硬度：可以通过使用硬度测试仪（如洛氏硬度计、布氏硬度计等）来测定涂层的硬度。
5. 检测涂层的耐腐蚀性能：可以使用盐雾试验、湿热试验等方法来评估涂层的耐腐蚀性能。
6. 检测设备的密封性能：可以使用气密性测试仪对设备的密封性能进行检测，确保真空系统的密封性。
7. 检测设备的操作稳定性：通过对设备的各项参数（如温度、压力等）的稳定性进行监测和记录，以确保设备的操作稳定性。
