X 射线衍射法：用于检测物理汽相淀积薄膜的晶体结构和取向。
扫描电子显微镜：可以观察薄膜的表面形貌和厚度。
原子力显微镜：提供薄膜表面的高分辨率形貌信息。
俄歇电子能谱：用于分析薄膜的化学成分。
X 射线光电子能谱：检测薄膜表面的元素组成和化学状态。
薄膜电阻测量：评估薄膜的导电性能。
台阶仪：测量薄膜的厚度。
椭圆偏振光谱：确定薄膜的光学常数和厚度。
拉曼光谱：分析薄膜的分子结构和化学键。
热重分析：研究薄膜的热稳定性。
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