微光束法检测是一种用于分析材料微观结构和成分的技术。它通过将一束细小的电子束或离子束聚焦在样品表面上，然后测量样品对该束的散射、反射或吸收等响应，来获取有关样品的信息。
该方法的检测范围包括但不限于以下几个方面：
1. 材料表面形貌和粗糙度的测量。
2. 材料微观结构的分析，如晶体结构、晶粒尺寸、相组成等。
3. 元素成分的分析，可确定样品中各种元素的种类和含量。
4. 薄膜厚度的测量。
5. 材料的电学、光学和磁学性质的研究。
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