X 射线衍射法：用于分析外延片的晶体结构和结晶质量。
扫描电子显微镜（SEM）：可观察外延片的表面形貌和微观结构。
原子力显微镜（AFM）：提供外延片表面的高分辨率形貌信息。
光致发光（PL）光谱：检测外延片中的发光性能和缺陷。
霍尔效应测试：测量外延片的电学性质，如载流子浓度和迁移率。
四探针法：用于测量外延片的电阻率。
反射率测量：分析外延片的光学特性。
拉曼光谱：研究外延片的分子结构和振动模式。
二次离子质谱（SIMS）：检测外延片中的杂质含量。
热重分析（TGA）：评估外延片的热稳定性。
