1. 真空度测试仪器：真空计
真空计是用来测量真空度的仪器，在真空系统中常用的真空计有热阴极离子计、热阴极电离计、热阴极传导计、湮灭电流计、毛细压力计等。
2. 气密性测试仪器：气密性测试仪
气密性测试仪是用来检测密封性能，确定气密性是否达到要求的仪器。常用的气密性测试仪有氦漏率测试仪、气密性试验仪等。
3. 流量测试仪器：流量计
流量计是用来测量流体的流量的仪器。在真空阀检测中，常用的流量计有质量流量计、体积流量计等。
4. 温度测试仪器：温度计
温度计是用来测量温度的仪器，在真空阀检测中可以用来检测阀体温度是否超过工作范围。
