真空击穿是指在真空环境下，电介质材料失去绝缘能力，导致电流通过的现象。为了进行真空击穿检测，通常会使用以下仪器：
1. 真空击穿强度试验仪：用于测量材料在特定条件下的击穿电压，包括直流和交流击穿电压。
2. 真空击穿测试装置：提供特定真空环境，并将电介质样品放置在电极之间进行击穿测试。
3. 高压电源：为击穿测试提供所需的高电压。
4. 电流测量仪：测量击穿过程中通过电介质的电流。
5. 数据记录与分析系统：用于记录击穿测试过程中的数据并进行分析和评估。
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