栅槽检测常用的仪器有：
1. 分光光度计：用于测定栅槽中的物质的光谱特征，包括测定吸光度、荧光光谱等。
2. 光学显微镜：用于观察栅槽表面的形貌，检测是否存在缺陷、损伤、污染等。
3. 扫描电子显微镜（SEM）：可以对栅槽的表面进行高分辨率的显微观察，检测微小缺陷和结构。
4. 原子力显微镜（AFM）：用于检测栅槽表面的形貌、粗糙度以及纳米级别的缺陷。
5. 高分辨率X射线衍射仪（XRD）：可以分析栅槽中的晶体结构和晶格畸变。
6. 拉曼光谱仪：用于检测栅槽中的分子结构，可以确定材料的成分和纯度。
