真空感应脱气检测是一种用来检测材料或装置中气体含量的方法。下面是一些常用的仪器:
1. 真空计: 用来测量真空度的仪器，常见的有热阴极离子化真空计、热电阻真空计、静态压差真空计等。
2. 脱气仪: 用来加热材料或装置，以加速气体的脱除。常见的有电阻式脱气仪、微波脱气仪等。
3. 气体分析仪: 用来测量脱出气体中各种成分的含量。常见的有质谱仪、气相色谱仪、拉曼光谱仪等。
4. 温度控制仪: 用来控制材料或装置的加热温度，以实现脱气效果。常见的有电子式温度控制仪、PID调温仪等。
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