1. 激光干涉仪：
激光干涉仪可以用来测量光学元件的表面形貌，包括阵列的排列情况。它通过测量入射光和反射光的干涉来得到目标表面的形貌信息，可以检测到阵列的平面度和间距等参数。2. CCD相机：
CCD相机是一种高灵敏度的光学成像设备，可以用来拍摄阵列的图像。通过对图像进行处理和分析，可以得到阵列的间距、位置和形状等信息。3. 电子显微镜：
电子显微镜是一种高分辨率的显微镜，可以用来观察微观结构。它可以对阵列的表面进行放大和观察，以便检测排列情况，并可以通过测量图像中的尺寸来计算阵列的间距和位置等参数。4. 光学投影仪：
光学投影仪可以用来在大尺寸工作台上观察和测量小尺寸工件，包括阵列的排列情况。它通过投射光源上的图像到工作台上，可以清晰地显示阵列的形状和间距等信息，方便进行检测分析。5. 自动光学检测仪：
自动光学检测仪是一种高精度的光学检测设备，可以用来检测阵列的排列情况。它具有自动化功能，可以快速地对阵列进行扫描和分析，并通过图像处理算法来测量阵列的间距、位置和形状等参数。