锗掺杂芯检测涉及的仪器包括：
1. 电阻测试仪：用于测量锗芯的电阻值，以确定掺杂效果。
2. 光谱分析仪：通过分析锗芯的光谱特征，确定掺杂元素的存在和浓度。
3. 放射性测试仪：用于检测锗芯中是否存在放射性元素污染。
4. 热电偶测温仪：用于测量锗芯的温度变化，以确定掺杂过程中的温度控制。
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中析研究所
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