真空排气检测是用于测试和分析真空系统中的气体排放情况的一种方法。以下是几种常用的用于真空排气检测的仪器：
1. 真空计：用于测量真空系统中的气压，常见的有热阴极离子化真空计、扩散真空计等。
2. 气质联用仪（GC-MS）：是一种将气体色谱和质谱技术相结合的仪器，用于分离和检测真空系统中的气体成分。
3. 气体分析仪：包括气相色谱仪（GC）、红外光谱仪（IR）等，用于定量分析真空系统中的气体成分。
4. 常规检测仪器：如氧气分析仪、二氧化碳分析仪等，用于检测真空系统中特定气体的含量。
5. 气体检漏仪：用于检测真空系统中的气体泄漏情况，常见的有质谱检漏仪、氦气检漏仪等。
