X 射线衍射仪：用于分析薄膜的晶体结构。
扫描电子显微镜：可以观察薄膜的表面形貌和微观结构。
原子力显微镜：能够测量薄膜的表面粗糙度和厚度。
椭圆偏振仪：用于测量薄膜的厚度和光学常数。
分光光度计：可检测薄膜的光学性能，如透过率和反射率。
四点探针：用于测量薄膜的电阻率。
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中析研究所
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