氦质谱检漏仪：用于检测涡轮分子泵的泄漏情况。
真空计：测量涡轮分子泵的真空度。
转速计：检测涡轮分子泵的转速。
振动分析仪：分析涡轮分子泵的振动情况。
温度传感器：监测涡轮分子泵的温度。
噪声测试仪：测量涡轮分子泵的噪声水平。
电学测试仪：检测涡轮分子泵的电学性能。
频谱分析仪：分析涡轮分子泵的频谱特性。
激光干涉仪：测量涡轮分子泵的精度和稳定性。
压力传感器：检测涡轮分子泵的进出口压力。
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