真空状态检测-检测仪器
真空状态检测一般使用的仪器有:
1. 真空计:常见的真空计有电子真空计、热电离真空计、冷阴极真空计等。它们通过测量真空环境中的气体分子数量来判断真空程度。
2. 真空度测试仪:通过测量真空度来判断真空状态的仪器。常见的有压力差式真空度测试仪、毫巴表等。
3. 漏率测试仪:用来检测真空系统的漏率,常见的有气体泄漏检测仪、质谱漏率测试仪等。
4. 真空泵:用于创造和维持真空状态的设备。常见的有旋片式真空泵、分子泵等。
5. 气体分析仪:用于分析真空系统中存在的气体成分,常见的有气相色谱仪、质谱仪等。