1. 激光束质量分析仪（Beam Quality Analyzer）：用于测量激光束的空间分布、光斑大小和形状，以评估激光束的质量。
2. 分光仪（Spectrometer）：用于测量激光束的光谱特性，包括波长分布、峰值强度等，以评估激光束的光谱质量。
3. 波前传感器（Wavefront Sensor）：用于测量激光束的波前形状和相位差，以评估激光束的波前质量。
4. 缩孔式束质量检测仪（Reduced Aperture Beam Quality Analyzer）：通过缩小激光束的孔径，来测量束径大小及散斑，以评估激光束的束质量。
5. 散斑仪（Scatterometer）：用于测量激光束的散斑特性，包括散斑强度、散斑尺寸等，以评估激光束的散斑质量。
