电子显微镜：可用于观察材料中的微观结构和位错，分辨率高。
X 射线衍射仪：通过分析 X 射线衍射图谱，确定晶体结构和位错类型。
原子力显微镜：能够提供表面形貌和微观结构的高分辨率图像。
扫描隧道显微镜：用于研究表面原子结构和位错。
光学显微镜：在较低放大倍数下观察位错的宏观特征。
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中析研究所
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