微调聚焦检测可以使用显微镜进行。显微镜可以将物体放大，帮助检测人员更清晰地观察物体的细节，从而进行微调聚焦检测。
微调聚焦检测也可以使用激光干涉仪进行。激光干涉仪可以测量物体的表面形貌和粗糙度，从而帮助检测人员进行微调聚焦检测。
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中析研究所
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