1. 真空泵：用于产生和维持真空环境，通常分为旋片泵、罗茨泵等多种类型。
2. 真空计：用于测量真空度的仪器，常见的有热阴极离子化真空计、磁控溅射真空计、扩散式真空计等。
3. 气体分析仪：用于分析检测真空排气过程中的气体成分，常见的有质谱仪、气体色谱仪等。
4. 氦质谱检漏仪：用于检测真空系统中的气体泄漏，通过检测氦气的泄漏来确定系统的密封性。
5. 高精度压力表：用于测量真空系统的压力，有助于评估真空状态是否符合要求。
6. 超高真空环境静电净化器：用于静电消除和除尘，保持真空环境清洁。
7. 温湿度计：用于监测真空室内的温度和湿度，确保真空环境稳定。
8. 真空系统漏气检测仪：用于查找真空系统中可能存在的漏气点，定位和修复漏气问题。
