真空管道检测所用到的仪器有：
1. 真空计：用于测量管道内的真空度，常见的有热阴极离子真空计、冷阴极离子真空计、热阴极热阴极离子真空计等。
2. 泄漏检测仪：用于检测管道中是否有泄漏，通常使用压力差法、质谱法等原理进行检测。
3. 流量计：用于测量管道中的气体流量，有质量流量计、体积流量计等不同类型。
4. 气体分析仪：用于分析管道中的气体成分，可以检测到不同气体的浓度。
5. 温度计：用于测量管道的温度，可以检测到管道的热点、冷点等情况。
6. 压力计：用于测量管道内的压力变化，常见的有电阻式压力计、压电式压力计等。
