真空碳化检测是一种用于测量材料或物体中碳化物含量的技术。下面是一些常见的用于真空碳化检测的仪器：
1. 碳含量分析仪：用于测量材料中的碳含量。它通常基于热导法或红外吸收法。
2. 原子力显微镜（AFM）：可以用来观察和分析材料表面的形貌和成分，从而间接判断材料中的碳化物存在。
3. 扫描电子显微镜（SEM）：通过电子束扫描材料表面，可以观察并分析材料中的碳化物颗粒。
4. X射线衍射仪（XRD）：利用材料中的晶体结构对入射的X射线进行衍射，从而分析材料中的碳化物晶体相。
5. 能谱仪（EDS）：能够进行材料中元素成分的分析，从而判断材料中是否存在碳化物。
