1. 激光粒度分析仪：用于测量杂质在不同粒径范围内的分布情况。通过激光束照射样品，根据散射光的角度和强度变化，可以得到杂质的粒径分布信息。
2. 傅里叶变换红外光谱仪（FT-IR）：用于检测样品中有机和无机杂质的类型和相对含量。通过将样品置于红外光束中，在不同波长范围内测量样品吸收或散射的光谱，可以得到样品组成的指纹图谱。
3. 原子吸收光谱仪（AAS）：用于测量样品中金属元素的含量。通过将样品制备成溶液，然后将溶液中的金属元素原子化，在特定波长下测量吸收光谱，可以确定金属元素的浓度。
4. 气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）：用于检测样品中有机杂质的种类和相对含量。通过将样品溶解、蒸发并分离成气相样品，然后通过气相色谱柱分离样品中的组分，再通过质谱仪对分离的组分进行定性和定量分析。
