真空试验检测-检测仪器
真空试验检测通常涉及以下仪器:
1. 真空泵:用于抽取测试物体周围的空气,创建真空环境。
2. 真空计:用于测量真空度,常见的有毛细管真空计、热腔真空计、离子真空计等。
3. 漏率检测仪:用于检测物体在真空状态下的漏气情况,常见的有干煤仪、质谱仪、快速漏气检测仪等。
4. 气体分析仪:用于分析真空环境中的气体成分和浓度,常见的有气相色谱仪、质谱仪、红外气体分析仪等。
5. 压力计:用于测量真空环境中的压力,常见的有气压计、微压计、扩散压力计等。
6. 真空密封测试仪:用于测试物体的真空密封性能,通常包括压差测量仪、泄漏检测仪等。