真空法检测是一种常用的检测方法，用于检测材料的气密性。以下是常用的仪器：
1. 真空计：用于测量真空度的仪器，常见的有热阴极离子化真空计和冷阴极离子化真空计。
2. 打气机：用于产生并维持一定的压力，常见的有手动打气机和电动打气机。
3. 真空室：用于将被检测物体置于真空环境中进行测试的设备。
4. 密封装置：用于确保被检测物体与外界环境的隔离，常见的有密封圈、密封胶等。
5. 检漏仪：用于检测材料的漏气情况，常见的有真空漏率测试仪和氦气检漏仪。
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