常用的正抗蚀剂检测仪器主要有：
- 电化学工作站：用于测量正抗蚀剂对金属腐蚀的抑制性能，通过电化学测试方法（如极化曲线法、交流阻抗法）来评估正抗蚀剂的抗腐蚀性能。
- 腐蚀失重仪：用于测量材料在正抗蚀剂环境中的腐蚀速率，通过浸泡试样在一定的条件下，根据试样的失重量来计算腐蚀速率。
- 盐雾腐蚀试验箱：用于模拟恶劣的盐雾环境，进一步评估正抗蚀剂对金属的保护性能，通过观察金属试样在盐雾环境下的腐蚀情况来判断正抗蚀剂的抗腐蚀性能。
- 急冷热试验箱：用于模拟正抗蚀剂在温度变化情况下的保护性能，通过将试样置于温度变化的环境中，观察试样表面的腐蚀情况来评估正抗蚀剂的热稳定性。
