1. 光学显微镜：用于观察和检测样品的形态和结构，可以进行放大、测量和拍照。
2. 斜视差测量仪：用于测量样品表面的倾斜度和平整度，可以检测平面度、垂直度等参数。
3. 带通滤光片：用于选择特定波长的光，可以进行颜色检测和荧光检测等。
4. 三坐标测量仪：用于测量样品的三维尺寸和形状，可以进行高精度的测量和比较分析。
5. 高分辨率显微镜：用于观察和检测样品的微观结构和表面状况，可以进行高清晰度的放大和分析。
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