远红外激光器检测主要用到以下仪器：
1. 远红外激光器：用于产生远红外激光，以便进行检测和分析。
2. 激光功率计：用于测量远红外激光器的输出功率，以确保激光的稳定性和一致性。
3. 光谱仪：用于测量远红外激光器发射的光谱，以确定其波长和频率。
4. 热像仪：用于检测远红外激光器的温度分布和热辐射特性。
5. 光束质量分析仪：用于评估远红外激光器输出光束的质量，包括光束直径、散斑尺寸和光束峰度等参数。
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