真空退火检测用到的仪器主要有：
1. 真空炉：用于在高温环境下进行真空退火处理。真空炉可以提供高真空度的环境，使材料在无氧气或者低气压下退火。
2. 热电偶温度计：用于测量真空炉内退火过程中的温度变化。热电偶温度计在高温环境下运作，并将温度转化为电信号输出，以便进行温度控制和记录。
3. 真空泵：用于在真空炉中抽取气体，以建立和维持高真空度的环境。真空泵有不同类型，如机械泵、分子泵等，可以根据具体需要选择。
4. 气体分析仪：用于检测真空炉内的气体组分和浓度。气体分析仪可以检测和测量气体成分，如氢气、氧气等，以确保真空环境的质量。
