无油真空检测是一种用于检测真空系统是否存在泄漏的方法。以下是一些可能用于无油真空检测的仪器：
1. 真空计：用于测量真空系统中的压力。
2. 检漏仪：可以检测微小的泄漏。
3. 氦质谱检漏仪：对氦气敏感，能精确检测泄漏。
4. 真空阀门：控制真空系统的通断。
5. 真空管道：连接各个部件。
6. 真空泵：提供真空环境。
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