微同轴检测通常使用以下仪器：
1. **矢量网络分析仪**：用于测量微同轴的散射参数，如 S11、S21 等，以评估其传输性能。
2. **示波器**：可用于观察微同轴中的信号波形，检测信号的稳定性和噪声等。
3. **频谱分析仪**：用于分析微同轴中的信号频谱，检测信号的频率成分和功率分布。
4. **电桥**：可用于测量微同轴的电阻、电容和电感等参数。
5. **显微镜**：用于观察微同轴的微观结构，检测其制造质量和缺陷。
6. **X 射线检测仪**：可用于检测微同轴内部的结构和缺陷，如空洞、裂纹等。
7. **热成像仪**：用于检测微同轴在工作过程中的温度分布，评估其散热性能。
