余摆线真空泵检测-检测仪器
用于检测余摆线真空泵的仪器包括:
1. 真空计:用于测试真空泵的真空度,常见的有热阴极离子计、热阴极非线性离子计、热阴极恒斯通计、腔体磁控管射线计等。
2. 压力表:用于测量真空泵的出口压力,可以选用不同量程的压力表,如磁翻板压力表、电容式压力表等。
3. 流量计:用于测量真空泵的抽气速度或气体流速,有质量流量计、热式流量计、差压流量计等不同类型。
4. 温度计:用于测量真空泵的温度,常见的有接触式温度计和非接触式红外温度计。
5. 涡轮转速计:用于测量真空泵的转速,可以使用机械式涡轮转速计或光电式涡轮转速计。