真空集管检测-检测仪器
真空集管检测一般需要以下仪器:
1.真空度测试仪:用来测量真空集管中的真空度,常见的真空度测试仪有热阴极高真空度测试仪和电离气体压力计。
2.漏气测试仪:用来检测真空集管是否存在气体泄漏,常见的漏气测试仪有质谱仪和气体检漏仪。
3.温度计:用来测量真空集管的温度,常见的温度计有红外线温度计和热电偶温度计。
4.压力计:用来测量真空集管的压力,常见的压力计有压力传感器和压力表。
5.可见光源:用来观察和检查真空集管内部的情况和缺陷,常见的可见光源有光源灯和激光光源。