真空塔检测通常涉及以下仪器：
1. 真空度测试仪：用于测量真空塔内部的真空度，常见的测试仪有热阴极离子真空度测试仪和冷阴极离子真空度测试仪。
2. 气体分析仪：用于检测真空塔内部的气体成分和含量，常见的检测参数包括氧气、氮气、水蒸气和其它杂质。
3. 气体泄漏检测仪：用于检测真空塔内部的气体泄漏情况，常见的检测方法包括泡沫检漏剂、气体检漏仪和红外线检漏仪。
4. 温度传感器：用于测量真空塔内部的温度情况，常见的传感器包括红外线温度计和热电偶温度计。
5. 压力传感器：用于测量真空塔内部的压力情况，常见的传感器包括压电式压力传感器和电容式压力传感器。
6. 可视检测仪：用于观测真空塔内部的情况，常见的设备包括内窥镜和摄像机。
