1. 红外光谱仪：用于分析锗晶体的光吸收特性和红外透过性。
2. X射线衍射仪：通过测量锗晶体的衍射图样，可以确定晶体的晶格结构和晶体质量。
3. 近场扫描光电子显微镜：用于观察锗晶体的表面形貌和结构。
4. 电子探针：通过扫描锗晶体表面，可以分析元素成分和分布。
5. 傅里叶变换红外光谱仪：用于分析锗晶体的红外光谱特性和化学成分。
6. 等离子体质谱仪：通过对锗晶体样品进行离子化和质谱分析，可以确定锗晶体的元素组成和杂质含量。
7. 热膨胀仪：用于测量锗晶体的热膨胀系数，以评估材料的热稳定性。
