真空除气器检测-检测仪器
真空除气器检测主要用到以下仪器:
1. 真空计:用于测量真空泵抽取的气体压力,常见的真空计有压力式真空计、热阴极离子化真空计、电离真空计等。
2. 气体分析仪:用于分析真空室中的气体成分和浓度,常见的气体分析仪有质谱仪、红外气体分析仪、激光气体检测仪等。
3. 气体稀释系统:用于将高浓度气体稀释成适宜的浓度进行测试,常见的气体稀释系统有气体稀释器、稀释泵等。
4. 泄漏检测仪:用于检测真空系统中的泄漏点,并定位泄漏位置,常见的泄漏检测仪有红外泄漏检测仪、质谱泄漏仪等。