扫描电子显微镜（SEM）：用于观察沉积薄膜的表面形貌和微观结构。
X 射线衍射仪（XRD）：分析薄膜的晶体结构和相组成。
原子力显微镜（AFM）：测量薄膜的表面粗糙度和厚度。
分光光度计：检测薄膜的光学性能，如透光率、反射率等。
硬度计：测试薄膜的硬度。
摩擦磨损试验机：评估薄膜的耐磨性。
热重分析（TGA）：研究薄膜的热稳定性。
俄歇电子能谱仪（AES）：分析薄膜的化学成分。
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中析研究所
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