外延检测是对半导体材料外延层的质量和性能进行评估的过程。以下是一些常用于外延检测的仪器：
1. **X 射线衍射仪（XRD）**：用于分析外延层的晶体结构和结晶质量。
2. **扫描电子显微镜（SEM）**：可以观察外延层的表面形貌和微观结构。
3. **原子力显微镜（AFM）**：用于测量外延层的表面粗糙度和形貌。
4. **光致发光谱仪（PL）**：检测外延层的发光性能和杂质浓度。
5. **霍尔效应测试仪**：测量外延层的电学性质，如载流子浓度和迁移率。
6. **电容-电压测试仪（C-V）**：用于评估外延层的掺杂浓度和界面特性。
7. **二次离子质谱仪（SIMS）**：分析外延层中的杂质成分和分布。
8. **拉曼光谱仪**：研究外延层的分子结构和振动模式。
9. **热重分析（TGA）**：测量外延层的热稳定性和成分变化。
10. **差示扫描量热仪（DSC）**：分析外延层的热性能和相变行为。
