显微镜：用于观察样品中的杂质形态和特征。
电子显微镜：可以提供更高分辨率的图像，用于检测微小的外来杂质。
光谱仪：通过分析样品的光谱特征，检测杂质的存在和种类。
色谱仪：用于分离和检测样品中的杂质成分。
X 射线衍射仪：可以分析样品的晶体结构，检测杂质的存在和类型。
热重分析仪：用于检测样品中的挥发性杂质和水分含量。
原子吸收光谱仪：用于检测金属杂质的含量。
电感耦合等离子体质谱仪：可以同时检测多种元素，包括杂质元素。
红外光谱仪：用于检测有机杂质的存在和种类。
激光粒度分析仪：用于测量样品中颗粒的大小和分布，检测杂质颗粒的存在。
