X 射线衍射仪：用于分析物理气相被覆的晶体结构和相组成。
扫描电子显微镜：可以观察物理气相被覆的表面形貌和微观结构。
原子力显微镜：用于检测物理气相被覆的表面粗糙度和形貌。
能量色散 X 射线光谱仪：可分析物理气相被覆的元素组成。
俄歇电子能谱仪：用于检测物理气相被覆的表面元素化学状态。
拉曼光谱仪：可分析物理气相被覆的分子结构和化学键。
硬度计：用于测量物理气相被覆的硬度。
摩擦磨损试验机：可测试物理气相被覆的摩擦磨损性能。
热重分析仪：用于分析物理气相被覆的热稳定性和热分解行为。
差示扫描量热仪：可测量物理气相被覆的相变温度和热焓。
