气相色谱仪：用于分析五氟化砷的含量和纯度。
质谱仪：可以确定五氟化砷的分子结构和分子量。
红外光谱仪：用于检测五氟化砷的官能团和化学键。
原子吸收光谱仪：可检测五氟化砷中的金属杂质。
离子色谱仪：用于分析五氟化砷中的阴离子和阳离子。
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中析研究所
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