X 射线衍射仪：用于分析外延层的晶体结构和取向。
扫描电子显微镜：可观察外延层的表面形貌和微观结构。
原子力显微镜：提供高分辨率的表面形貌图像。
二次离子质谱仪：用于分析外延层中的元素组成和杂质分布。
光致发光谱仪：测量外延层的发光性能。
霍尔效应测试仪：测量外延层的电学性质，如载流子浓度和迁移率。
椭圆偏振仪：测定外延层的厚度和光学常数。
拉曼光谱仪：分析外延层的分子结构和振动模式。
四探针测试仪：测量外延层的电阻率。
台阶仪：测量外延层的厚度和表面粗糙度。
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