1. 真空质量检测仪器：
用于检测真空系统中的气体成分、气压、气体流速等参数的仪器。常见的有气体检漏仪、质谱仪、真空度计等。
2. 电气性能测试仪器：
用于测试真空低压电器设备的电气特性、绝缘电阻、耐压强度、接地电阻、泄漏电流等参数的仪器。常见的有电阻测试仪、绝缘电阻测试仪、介质强度测试仪等。
3. 温度检测仪器：
用于监测真空低压电器设备的温度变化，确保设备在工作过程中不会过热或过冷。常见的有温度计、红外测温仪等。
4. 气体成分分析仪器：
用于分析真空低压电器设备中的气体成分，确定是否存在有害气体或异物。常见的有气体色谱仪、质谱仪等。
5. 检漏仪器：
用于检测真空低压电器设备中是否存在气体泄漏的仪器。常见的有干式检漏器、电子检漏仪等。
6. 电磁兼容性测试仪器：
用于检测真空低压电器设备在电磁环境中的工作性能和抗干扰能力。常见的有电磁辐射测试仪、电磁兼容性测试仪等。
