真空开关检测通常使用以下仪器：
1. 真空度测试仪：用于测量真空开关的真空度，检测系统是否存在漏气或泄漏问题。
2. 高压测试仪：用于检测真空开关的绝缘性能，主要对其承受的电压进行测试。
3. 接触电阻测试仪：用于测量真空开关的接触电阻，以判断开关接触点是否正常。
4. 动作特性测试仪：用于测试真空开关的开断、闭合时间等动作特性，以评估其工作性能。
5. 温升测试仪：用于测量真空开关在工作过程中产生的温度升高，以确保其不会过热。
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