真空电子学检测-检测仪器
扫描电子显微镜(SEM): 用于观察材料表面形貌和分析材料的成分,利用聚焦的电子束扫描材料表面,产生图像。
透射电子显微镜(TEM): 用于观察材料的内部结构和细节,利用高能电子束穿透样品,通过成像系统观察样品中的电子衍射和散射。
扫描探针显微镜(SPM): 用于观察材料表面的原子尺度结构,通过在样品表面移动非常尖锐的探针,测量样品的表面力和电位等性质。
荧光光谱仪: 用于检测物质吸收或发射的特定波长的光线,根据荧光信号的强度和波长分析样品的成分和结构。
拉曼光谱仪: 用于测量样品散射的光的频率变化,通过观察样品散射光谱获得样品分子振动、晶格结构等信息。
X射线衍射仪(XRD): 用于分析材料的晶体结构和晶格参数,通过测量材料入射X射线和散射X射线的角度和强度来推导出样品的晶体结构。
原子力显微镜(AFM): 用于观察材料表面的原子尺度结构,通过在样品表面移动非常尖锐的探针,测量样品表面的力和位移信号。