真空灭弧室检测主要利用以下仪器：
1. 真空灭弧室：真空灭弧室是用于进行真空灭弧试验的设备，通常由真空室、灭弧室和相关的控制系统组成。
2. 高压电源：用于提供高电压，以模拟真空灭弧过程中的高电场强度。
3. 电流传感器：用于测量真空灭弧过程中的电流变化。
4. 电压传感器：用于测量真空灭弧过程中的电压变化。
5. 计时器：用于精确测量真空灭弧的持续时间。
6. 数据采集系统：用于记录和分析真空灭弧试验过程中的电流、电压和时间等相关数据。
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