真空热处理是一种使用真空环境进行热处理的工艺，主要用于提高材料的硬度、强度和耐磨性。在真空热处理过程中，需要使用一些特定的仪器进行检测和分析。
以下是常用的真空热处理检测仪器：
1. 真空度测试仪：用于测量真空炉中的真空度，以确保达到热处理所需的真空环境。
2. 温度控制器：用于监测和控制炉内的温度，确保热处理过程中的温度符合要求。
3. 热处理试样机：用于放置待处理的材料样品，并进行真空热处理。
4. 显微镜：用于观察热处理后的材料微观结构变化，包括晶粒尺寸、晶界结构等。
5. 硬度测试仪：用于测量热处理后材料的硬度，以评估热处理效果。
6. 金相显微镜：用于观察热处理后材料的金相组织结构，包括晶粒形状、晶粒大小、相含量等。
